レーザー微細加工のご案内 レーザー加工によるウエハー製品・試作サービスのご案内です。オプトスターで はガラス、シリコン等、脆性のウエハーや結晶材料等にドリル加工では対応できない数 10μm以下の貫通穴 (最小1μm) を多数あけることができます。微細加工では熱影響を防ぐため、主に100fs以下の超短パルスレーザーを利用しています。ウエハー以外の材料トライアルも行いますので、 フェムト秒レーザーによる微細加工にご興味がありましたらお気軽にご相談下さい。:CO2 レーザーによるウエハーマーキング等も可能です。 レーザーセンサーを用いたウエハー厚さ測定サービスのご案内 (休止中) |
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